无锡某半导体工厂后段封装产线超纯水系统,根据产线对水质的使用要求,处理工艺力求简单、可靠、先进、能耗低、投资少,占地面积少。在保证出水达标的情况下,尽量减少工程投资与运行费用

1.1原水水质

超纯水系统以市政自来水作为原水,无锡地区自来水水质各项指标见表1。超纯水系统出水电阻率要求达到16M9.cm以上,循环使用量为3m/h

主要工艺路线:市政自来水首先经过石英砂过滤器,活性炭过滤器进行预处理;换热后经,二级RO-CDI脱盐系统完成超纯水的制备;最后通过抛光混床实现超纯水供水。工艺流程图见图1。