纯水制备工艺有膜法、热法和离子交换法等。双膜法是膜法中较典型的处理工艺之一,核心工艺环节采用反渗透+EDI工艺。双膜法纯水制备工艺产水水质稳定,不需要酸碱再生离子交换树脂,环境污染极低,易于实现全自动智能控制,操作维护维修简
某光电实验楼5m/h电子用超纯水系统,采用双膜法制备工艺,原水为市政自来水,水质较好,优于自来水水质标准,电导率约为80-150uscm,溶解性总固体TDS约为50-80mgL,浑浊度 Turbidity小于0.3NTU。经过预处理进入反渗透装置,反滲透产淡水产量6mh,电导率小于10us/cm,EDI装置产纯水量5.6
m3h,电阻率≥15M92cm,终端产超纯水5m/h,电阻率≥18MQcm,达到电子工业超纯水EW-1(GB/T1446.1-1997)标准