原水 可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作 原水。

 机械过滤 通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质, 如铁锈 和其他悬浮物等。

活性炭过滤 活性炭是广谱吸附剂, 可吸附气体成分, 如水 中的游离氯等; 吸附细菌和某些过渡金属等。

反渗透膜过滤 可滤除 95%以上的电解质和大分子化合物, 包 括病毒、微生物、细菌、胶体微粒等。

紫外线消解 借助于短波(180-254 nm) 紫外线照射分解水 中的不易被活性炭吸附的小有机化合物, 如甲醇、 乙醇等, 使其转变成 CO2 和水, 以降低 TOC 的指 标。

 离子交换单元 已知混合离子交换床是除去水中离子的决定 性手段。借助于多级混床获得超纯水也并不困难。 但水的 TOC指标主要来自树脂床。因此, 要选择高 质量的、化学稳定性特别好, 不分解、不含低聚物、 单体和添加剂等的树脂。

  0.2 μm滤膜过滤 滤膜过滤用来去除水中所有大于 0.2 μm 的颗 粒物(包括细菌)。 经过上述各步骤处理后生产出来的水就是超 纯水了, 可以满足各种仪器分析、高纯分析、痕量分 析等实验要求, 接近或达到实验室 I 级水的要求。